熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)（以下簡稱流量計(jì)）是利用傳熱原理，即流動(dòng)中的流體與熱源（流體中加熱的物體或測量管外加熱體）之間熱量交換關(guān)系來測量流量的儀表，過去我國習(xí)稱量熱式流量計(jì)。當(dāng)前主要用于測量氣體。
20世紀(jì)90年代初期，世界范圍銷售金額約占流量儀表的8%，約4.5萬臺(tái)。國內(nèi)90年代中期銷售量估計(jì)每年1000臺(tái)左右。過去流程工業(yè)用儀表主要是熱分布式，近幾年才開發(fā)熱散（或冷卻）效應(yīng)式。
一、原理
熱式流量儀表用得多有兩類，即1）利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測量管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)的熱分布式流量計(jì)曾稱量熱式TMF;2)利用熱消散（冷卻）效應(yīng)的金氏定律。又由于結(jié)構(gòu)上檢測元件伸入測量管內(nèi)，也稱浸入型或侵入型。有些在使用時(shí)從管外插入工藝管內(nèi)的儀表稱作插入式。
二、優(yōu)點(diǎn)
熱分布式流量計(jì)可測量低流速（氣體0.02~2m/s）微小流量；浸入式可測量低~中偏高流速(氣體2~60m/s)，插入式流量計(jì)更適合于大管徑。
流量計(jì)無活動(dòng)部件，無分流管的熱分布式儀表無阻流件，壓力損失很??；帶分流管的熱分布式儀表和浸入性儀表，雖在測量管道中置有阻流件，但壓力損失也不大。
流量計(jì)使用性能相對(duì)提高。與推導(dǎo)式質(zhì)量流量儀表相比，不需溫度傳感器，壓力傳感器和計(jì)算單元等，僅有流量傳感器，組成簡單，出現(xiàn)故障概率小。
熱分布式儀表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想氣體的雙原子氣體，不必用這些氣體專門標(biāo)定，直接就用空氣標(biāo)定的儀表，實(shí)驗(yàn)證明差別僅2%左右；用于Ar、He等單原子氣體則乘系數(shù)1.4即可；用于其他氣體可用比熱容換算，但偏差可能稍大些。
氣體的比熱容會(huì)隨著壓力溫度而變，但在所使用的溫度壓力附近不大的變化可視為常數(shù)。
三、缺 點(diǎn)
熱式質(zhì)量流量計(jì)響應(yīng)慢。
被測量氣體組分變化較大的場所，因cp值和熱導(dǎo)率變化，測量值會(huì)有較大變化而產(chǎn)生誤差。
對(duì)小流量而言，儀表會(huì)給被測氣體帶來相當(dāng)熱量。
對(duì)于熱分布式流量計(jì)，被測氣體若在管壁沉積垢層影響測量值，一定要定期清洗；對(duì)細(xì)管型儀表更有易堵塞的缺點(diǎn)，一般情況下不能使用。
對(duì)脈動(dòng)流在使用上將受到限制。
液體用TMF對(duì)于粘性液體在使用上亦受到限制。
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